制冷無油真空泵借助于外置冷卻器使氣體自動進行循環(huán)冷卻轉(zhuǎn)子與泵體，泵可在很高的壓差下連續(xù)工作，而不會發(fā)生熱過載，泵可直接排大氣。該泵具備普通真空泵的諸多優(yōu)點，可與前級泵串聯(lián)使用，也可單獨使用。
當(dāng)泵單獨使用時，可直接利用排氣口低溫的大氣返回泵內(nèi)冷卻而不使用冷卻器，大泵可獲得約130百帕的真空。（制冷無油真空泵